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| 化学成分 | 高纯单晶氧化铝Al2O3 | － |
| 纯度 | ＞99.996 | % |
| 位错密度 | ＜104 | cm-2 |
| 表面晶向 | C-plane（0001）±0.2 | Degrees |
| M轴偏离角度 | 0.2±0.1 | Degrees |
| A轴偏离角度 | 0.2±0.1 | Degrees |
| 直径 | Φ100.0 ± 0.10 | mm |
| 厚度 | 650±15 | μm |
| 标记平面晶向 | A-axis（11-20）± 0.2 | Degrees |
| 标记面宽度 | 32.5±1 | mm |
| 正面 | 精细抛光(开盒即用) | － |
| 正面粗超度(Ra) | ≦ 0.3 | nm |
| 被面粗超度 (Ra) | 0.5 ~ 1 | μm |
| 总厚度偏差 | ＜ 15 | μm |
| 翘曲度 | 0～-15 | μm |
| 弯曲度 | ≦ 15 | μm |
| 边缘倒角 | C=45 | Degrees |
| 包装 | 100级洁净车间，25片或单片真空/充氮包装 | 盒 |
