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一、用途： http://www.vihent.com
透反射式硅片检测显微镜VH-500主要用于太阳能电池硅片的观察.它能生产高清晰的图像,立体感较强，成像较清晰和宽阔，又具有长工作距离，并具有较大的视场范围和相应的放大倍数, 配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务.是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产企业进行质量控制最普通的仪器.
二、技术参数 http://www.vihent.com
1.物镜
反射物镜 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X(明场/暗场),Pc63X
透射物镜 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X,Pc100X
2.目镜
8X,10X,10X(带0.1mm分划值),12.5X，16X
3.光学总放大倍数：40X-2000X
4.测微尺: 0.01mm物镜测微尺
5.物载片平板
6.滤色片:蓝,绿,黄,灰,毛玻片
7.检偏镜
8.灯泡:12V50W卤素灯
9.光源：落射光和透射光
10.成像系统:500万高像素的数字摄像头
三、系统组成
电脑型硅片检测显微镜(VH-500C): 1、显微微 2、适配镜 3、500万高像素摄像头
4、计算机(选配)
四、总放大参考倍数
电脑型硅片检测显微镜(VH-500D)：50--40000倍 （17寸显示器为例）
五、选购件 http://www.vihent.com
1.二维测量软件VH-100 2.目镜： 20X 10X(带刻度) 3.物镜：20X 80X
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