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真空发生器 真空发生器 ZM 系列 特点 ZM ·阀·开关已单元化 ·可以集装 ·最大吸收流量增大40％ ·最高真空压力-84kPa 带电子式延时器的真空发生器 ZMA 系列 特点 ZMA ·配有破坏阀控制用的电子式延时功能 ·开关和阀的电源共用及吸着信号的串行传送可用1根线 ·延时时间的调节容易 真空发生器 ZH 系列 特点 ZH ·喷嘴口径φ0.5、φ0.7、φ1.0、φ1.3、φ1.5、φ1.8、φ2.0 ·喷嘴和器体是一体成形树脂 ·盒型和直接配管型2种形式已系列化 直通式真空发生器 ZU 系列 特点 ZU ·真空口和供气口在一直线上，故配管容易 ·采用树脂器体，故轻， 喷嘴口径φ0.5:6.5g φ0.7:7.0g ·内置快换接头（无铜离子） 多级真空发生器 ZL 系列 特点 ZL112 ·采用3级扩压段，故吸入流量增加 ·可选择数字式真空压力开关及真空压力表等功能 ZL212 真空发生器与电磁阀组合元件 ZYY/ZYX 系列 特点 ZYY ·适合真空吸着系统的真空发生器·阀组件 ZYX 薄型真空组件 ZQ 系列 特点 ZQ ·单体宽10mm，质量83g，带真空压力开关及真空过滤器。 ·快换接头连接 ·可用于真空发生器系统及真空泵系统