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深圳Shimadzu 分子泵|岛津TMP-3303磁悬浮分子泵保养|真空设备维修
Lam PN:796-160763-101 Turbo Pump With TMP Controller and Asscioations TMP-2404LMTC(L2爱德华 EDWARDS STP- iXA4506CV分子泵
配件名称
配件型号
冷泵
U20P
机械泵组
PS602-SC
真空计
390417-0-YE-T
冷泵
U20P
机械泵组
PS602-SC
真空计
390417-0-YE-T
冷泵
U20P
机械泵组
PS602-SC
冷泵
CT-8
机械泵组
干泵 GV80 罗茨泵 BSJ70L
真空计
MPG400
干泵3个
NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E
真空计A
/
真空计B
/
真空计C
/
干泵3个
NeoDry15E NeoDry30E NeoDry36E
真空计A
/
真空计B
/
真空计C
/
冷泵
COOLVAC 1000iCL
机械泵
EV-S50P
真空计
SERIES 355
真空计
PSG500-S
冷泵
DZB550
机械泵组
干泵 GSD120B 罗茨泵 BSJ150L
真空计
PSG500
真空计
MPG400
分子泵×3
TYFB-2000Z两个 TYFB-1300Z一个
机械泵组
干泵 GV80 罗茨泵 BSJ70L
真空计
PSG500
真空计
MPG400
AMAT3870-01767阀门VALVE PNEU DIAPH 140PSIG CTI ON-BOARD500 Cryopump ISO KPD p/n8116544G002
主要的真空泵维修品牌有：日本Kashiyama真空泵维修，日本Shimadzu岛津分子泵维修，英国Edwards爱德华真空泵维修，德国Pfeiffer普发真空泵维修，
德国Leybold莱宝真空泵维修，美国Agilent安捷伦真空泵维修，日本岩田真空泵维修，法国ALCATEL真空泵维修，日本爱发科ULVAC真空泵维修,瑞士VAT阀门等进口真空泵维修，
真空泵油及其配件耗材等。公司自成立以来以快速的反映能力，过硬的质量，优质的服务，性价比高广受好评。
3000平米维修车间 3大维修中心
MKS Gauge356006-YE 355400-0-YE-T STP-XA2730 AKT CVD POWER P/N 0190-71517 REV 1直流电源
Micro_Ion Gauge 355 Micro ion 90（355018）
PFEIFFERVACUUM真空泵MVP020-3 DC
普发ACP15,40, 爱德华nxds 6i,10i，15i,20i,XDS 5,10,kashiyama neodry 30E
AMAT3930-01147oem MKS VODM33CR1BE
HORIBA流量计injection valve3030-17632/3030-18942
气体质量流量计气体流量控制MKS 1159B 通用型
|
目前所做的MFC的相关品牌和型号如下列出：MKSGE50A质量流量控制器
UNIT、TYLAN、MKS、STEC、BROOKS、AREA； |
| MKS电源EDGE210R40A-G12/660-210103-225CMLH-31-120S09 |
MFC-BF3/PH3
GRANVILLE-PHILLIPS/MKS390510-2-YG-T/355400-0-TE-T/355400-0-YE-M
AMAT1350-01173气体控制器压力控制器mks640B-29652/640A14312
MKS Type 640 Pressure Controller 640A21TW1VA2V-S new
货物清单号 # CONB-2509
这个MKS压力控制器是全新的，工程剩余产品，性能和外观都非常完美。如果您的设备上有类似产品需要进行更新替换，请联系我们购买。
产品说明:
Model No: 640A21TW1VA2V-S
Range: 20 Torr
VCR connection, 15 pin interface
CE marked
Made in USA
拍前请联系店主 普发真空计PKR251 英福康
产品简介：
瑞士INFICON PEG100潘宁真空计，这款坚固的潘宁冷阴极电离真空计可准确测量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空压力。 还有现场总线可供选择。
PEG100潘宁真空计 的详细介绍
INFICON PEG100潘宁真空计提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现单丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议，将真空计轻松集成到真空系统中。
PEG100潘宁真空计益处：
测量范围广，从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置
创新的电极几何形状提供***的点火属性
等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中
阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
***小化真空计附近的磁场强度
用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
对数模拟输出信号
现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中LF-410A-EVD TEOS 1g/min 1.5g/min 3g/min 4g/min
PEG100潘宁真空计典型应用：
高真空压力监控
蒸发溅射系统
高真空范围内的一般真空测量和控制
PEG100潘宁真空计选型指南：
PEG100零件号说明351-000 351-002 351-003 351-004 351-005
| 真空计 |
| PEG100-P 规管 |
| PEG100D 型真空计 |
| PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F |
| PEG100-P 规管 |
备件
PEG100零件号说明351-490
|
阴极片 |
FOR: AMAT 200 mm Centura . Endura . RTP . HTF . HDP . MXP . SUPER E . DPS . WCVD .
mks640A-14312/640A-29747流量压力计60/100psl现货供应
brooksinstrument VDM300维修与销售lam796-055344R007
MKS质量流量计1179A00423CR1BV气体Ar 2000sccm
LAM796-055344-005水蒸汽输送模块brooksinstrument VDM300
27-126062-00 3310-01071 ？； 1350-01027 ？； 1350-01021 ？； 60-10006-00 275821 3310-01055 275185 27-126029-00 629B-15894
美国CTI-Cryogenics 、CVI、Austin，德国Leybold、日本Anelva、住友重工 (SHI、APD 、Daikin)、 ULVAC、Suzuki等公司低温泵 冷凝泵。
提供GM及SV 冷凝泵 低温泵 的配件。
下面是出售的部分冷泵及配件（还有很多配件没有上传，欢迎来电咨询）：
ON BOARD 8F CRYOPUMP AMAT ENDURA 8116143G001
CTI-TOR8
Cryo-Torr Interface 8135903G001
Granville-Phillips Vacuum Guage Controller NR
15K High Capacity Array
CTI Maintenance Kits
Helium Line AMAT 3400-01109 CTI 8043086G240
TC Gauge 8112105
Cryo-Torr Interface 8135903G001
mks TYPE670真空计校准仪690传感器
722C01TCD2FJ电子真空计MKS真空压力计 1TORR 4VCR
brooksinstrument VDM300维修与销售lam796-055344R007
MKS MFVC-29886 MKS MFVC-34785 MKS MFVC-32497 MKS VODMB-26565 LAM 797-004456R005 MKS390100-YG 275071 392100-YE MKS-226A-29571 AMAT0190-50856 0190-51152 MKS649A12T51CAMR 1179A01922CR1AV-K MKS GE50A-30351
BROOKS AUTOMATION控制器维修978-262-2900（165463）
MKS SENTRY 1510流量计AERA EPV100-AW
TEL设备流量计维修ckd tpr4-35-A100T-X0002
cooling
美国FIL-TECH 对流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/1
mks真空计356004-YG-THORIBA VALVE全新原件0190-36237流量计
MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 真空计AMAT气体流量计0190-51152
Granville-Phillips 隔膜规390628-0-YE-T 390B6636
MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N：390628–0-YE-T 390628-0-YE-T 390B6636
GRANVILLE PHILLIPS 390 Series Micro-Ion gauge ATM Module:
PN:390628-0-YE-T,
PN:390506-3-YE-T,
P
加热元件的发热越有效，需要对它们进行的加热就越少。Plansee 研发了一种能够最大化热输出的涂层工艺。
CTI(Ulvac)低温泵和氦气压缩机维修、销售和技术咨询8200/9600
CTI(Ulvac)低温泵和氦气压缩机维修、销售和技术咨询。
OB8F:
OEM (CTI) Refurbished CTI Cryogenics Endura 8F Onboard Cryogenic Vacuum Pump.
. Utilized on AMAT Endura HP PVD Systems, OEM Refurbished to Like New Condition.
. Certificate of manufactures conformity attached.
. ConFlat Flange with Copper Gasket. In OEM Box
. CTI Part # 8116143G001 Serial # A06423485 AMAT Part # 0190-13371
8200: 8032559G001
美国CTI压缩机维修9600: 8135900G001
MKS354005-YD-T
INFICON BAG302 B-A 型热阴极电离真空计(中高真空计)
INFICON 单台 Bayard-Alpert 热离子计 BAG302 的测量范围从 1.3 × 10-9 到 6.7×10-2 mbar（1 × 10-9 到 5 × 10-2 Torr）。紧凑型一体化热离子计BAG302提供易于更换的双灯丝传感器，内置OLED显示屏，设定点继电器和对数线性模拟输出以及集成的RS485数字接口，可提高集成灵活性。这些功能与坚固的设计相结合，使BAG302成为一种经济实惠且可重复的过程，可作为自己的压力测量仪器的基础，并提供高价值/低拥有成本的选择。
INFICON 的 BAG302 热离子计是下面列出的 MKS/GP 部件号的直接直接替代品。 这还包括较旧的传统 MKS 354 微离子®模块。
| MKS系列 | 部件号 | 显示 | 单位 | 输出 | 法兰型 | 灯丝 | INFICON部件号 |
|
355 微离子®
|
355400-0-码 | 不 | 托 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
355 微离子®
|
355400-0-叶-T | 不 | 托 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 355 微离子® | 355400-0-YK-T | 不 | 托 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355400-0-YF-T | 不 | 托 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 355 微离子® | 355400-0-YG-T | 不 | 托 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
355 微离子®
|
355400-0-码 | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
355 微离子®
|
355400-0-叶-T | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
| 355 微离子® | 355400-0-YK-T | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355400-0-YF-T | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355400-0-YG-T | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
355 微离子®
|
355400-0-码 | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
355 微离子®
|
355400-0-叶-T | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 355 微离子® | 355400-0-YK-T | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355400-0-YF-T | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 355 微离子® | 355400-0-YG-T | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
355 微离子®
|
355600-0-码 | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
355 微离子®
|
355600-0-叶-T | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
| 355 微离子® | 355600-0-YK-T | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355600-0-YF-T | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355600-0-YG-T | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
355 微离子®
|
355600-0-码 | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
355 微离子®
|
355600-0-叶-T | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 355 微离子® | 355600-0-YK-T | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355600-0-YF-T | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 355 微离子® | 355600-0-YG-T | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
355 微离子®
|
355600-0-码 | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
355 微离子®
|
355600-0-叶-T | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 355 微离子® | 355600-0-YK-T | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355600-0-YF-T | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 355 微离子® | 355600-0-YG-T | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
355 微离子®
|
355410-0-码 | 不 | 托 | RS485 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
355 微离子®
|
355410-0-叶-T | 不 | 托 | RS485 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 355 微离子® | 355410-0-YK-T | 不 | 托 | RS485 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 355 微离子® | 355410-0-YF-T | 不 | 托 | RS485 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 355 微离子® | 355410-0-YG-T | 不 | 托 | RS485 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
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|
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354 微离子®
|
354001-YD-T （传统产品） | 不 | 托 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
354 微离子®
|
354001-YE-T （传统产品） | 不 | 托 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354001-YK-T （传统产品） | 不 | 托 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354001-YF-T （传统产品） | 不 | 托 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354001-YG-T （传统产品） | 不 | 托 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
354 微离子®
|
354001-YD-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
354 微离子®
|
354001-YE-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354001-YK-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354001-YF-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354001-YG-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
354 微离子®
|
354001-YD-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
354 微离子®
|
354001-YE-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354001-YK-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354001-YF-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354001-YG-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
354 微离子®
|
354002-YD-T （传统产品） | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
354 微离子®
|
354002-YE-T （传统产品） | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354002-YK-T （传统产品） | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354002-YF-T （传统产品） | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354002-YG-T （传统产品） | 发光二极管 | 托 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
354 微离子®
|
354002-YD-M （传统产品） | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
354 微离子®
|
354002-YE-M （传统产品） | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354002-YK-M （传统产品） | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354002-YF-M （传统产品） | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354002-YG-M （传统产品） | 发光二极管 | 毫巴 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
354 微离子®
|
354002-YD-P （传统产品） | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
354 微离子®
|
354002-YE-P （传统产品） | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354002-YK-P （传统产品） | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354002-YF-P （传统产品） | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354002-YG-P （传统产品） | 发光二极管 | 帕斯卡 | 模拟 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
354 微离子®
|
354005-YD-T （传统产品） | 不 | 托 | RS485 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
354 微离子®
|
354005-YE-T （传统产品） | 不 | 托 | RS485 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354005-YK-T （传统产品） | 不 | 托 | RS485 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354005-YF-T （传统产品） | 不 | 托 | RS485 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354005-YG-T （传统产品） | 不 | 托 | RS485 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
354 微离子®
|
354005-YD-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
|
354 微离子®
|
354005-YE-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354005-YK-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354005-YF-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354005-YG-M （传统产品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
|
354 微离子®
|
354005-YD-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 16 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-050 |
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354 微离子®
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354005-YE-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 25 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-051 |
| 354 微离子® | 354005-YK-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 40 国际标准-KF | 钌涂层铱 | 352-052 |
| 354 微离子® | 354005-YF-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 16 CF-R | 钌涂层铱 | 352-053 |
| 354 微离子® | 354005-YG-P （传统产品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 40 CF-R | 钌涂层铱 | 352-054 |
ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的简称，中文名称为阿斯麦（中国大陆）、艾司摩尔（中国台湾）。艾司摩尔（ASML）为半导体设备供货商，成立于1984年，是从荷商飞利浦分割出来独立的半导体设备公司，总部设立于荷兰的Veldhoven。
ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务，TWINSCAN系列，应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商，都向ASML采购TWINSCAN机型，例如英特尔（Intel），三星（Samsung），海力士（Hynix），台积电（TSMC），中芯国际（SMIC）等。
ASML的产品线分为PAS系列，AT系列，XT系列和NXT系列，其中PAS系列光源为高压汞灯光源，现已停产，AT系列属于老型号，多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列，为ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的机型，分为干式和沉浸式两种，而NXT系列则是现在主推的高端机型，全部为沉浸式。
