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往复真空泵的特点是，不怕水蒸气，牢固，操作容易等，但其极限真空度不太高。如滑阀式单级真空泵的极限真空度为1lTorr(1Torr=133.321)滑阀式双级真空泵的极限真空度，为0.05-0.2Torr，自由阀式单级真空泵的极限真空度，为0.2Torr。往复式真空泵的抽速范围，为45-20000立方每小时。它主要用于从密闭容器中或反应釜中抽除空气或其他气体，除非采取特殊措施，一般往复式真空泵不适用于抽除腐蚀性的气体或带有颗粒灰分的气体，其被抽气体的温度，一般不超过35度。。
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