高温炉真空系统 快速脱氧除杂方案 | 极限真空10?? mbar | 支持氩气保护工艺
价格：6999 元(人民币)
产地：广东东莞市
最少起订量：台
发货地：广东东莞市
上架时间：2025/3/31
浏览量：6
东莞市飞粤真空科技有限公司
经营模式：经销商
公司类型：私营有限责任公司
所属行业：真空泵
主要客户：全国
联系方式
联系人：刘瑜洁 (小姐)
手机：
电话：
传真：
邮箱：feiyuezk3@163.com
地址：东莞市寮步镇向西村振南四巷9号1楼
详情介绍
高温炉真空系统 快速脱氧除杂方案 | 极限真空10?? mbar | 支持氩气保护工艺
应用场景：为高温工业炉工艺赋能
普旭（Busch）单级油式真空泵专为工业炉高温精密工艺设计，适配以下核心场景：
?金属热处理：真空退火、淬火工艺，快速脱氧除杂，消除材料氧化缺陷。
?陶瓷/碳素烧结：高温炉内杂质气体抽排，提升材料致密性与纯度。
? 半导体材料制备：硅晶圆、靶材烧结，支持氩气/氮气保护气氛控制。
?粉末冶金：金属粉末成型烧结，避免微孔残留气体，保障成品强度。
核心特点：极限真空+工艺适配
1. 极限真空性能
- 超高真空度：单泵极限真空可达10?? mbar，满足严苛工艺气体环境需求。
- 快速抽气能力：30分钟内从常压抽至10?3 mbar级，缩短炉内预处理周期50%+。
2. 高温气体适配性
- 耐高温设计：
? 泵体采用耐热合金+水冷夹套，耐受炉口高温辐射（≤150℃）；
? 专用高温真空油，长期运行无碳化风险。
- 氩气/氮气兼容：优化气体回收系统，惰性气体循环利用率＞85%，降低工艺成本。
3. 智能工艺集成
- 多模式控制：
? 真空度-温度联动调节，适配阶梯式升温工艺；
? 可选配PLC/SCADA接口，无缝接入工业炉自动化产线。
- 杂质过滤系统：
? 前置旋风分离+后端分子筛吸附，拦截99%粉尘与挥发物；
? 自动反吹清洁功能，减少人工维护频率。
性能优势对比
传统系统痛点
|
普旭解决方案
|
用户收益
|
真空度不足导致材料氧化
|
极限真空10?? mbar，氧含量＜5 ppm
|
产品合格率提升至99%+
|
高温工况泵体寿命短
|
耐热合金+水冷设计，MTBF≥20,000小时
|
设备综合寿命延长60%
|
惰性气体消耗成本高
|
氩气回收系统，气体补充量减少70%
|
年工艺成本降低45万+
|
粉尘堆积引发故障
|
三级过滤+自动反吹，停机率下降90%
|
维护成本减少50%
|
行业适配案例
- 特种合金热处理：钛合金真空退火，表面氧化层厚度减少80%。
-碳化硅陶瓷烧结：炉内杂质气体抽排效率提升3倍，产品密度达理论值98%。
- 半导体靶材制备：氩气保护下高纯度钼靶材烧结，氧含量控制在10 ppm以下。
- 磁性材料生产：钕铁硼真空烧结，磁能积（BH）max提升15%。
普旭单级油式真空泵以 “极限真空+高温适配” 重新定义工业炉工艺标准：
- 精密可控：10?? mbar级真空环境，彻底消除氧化与杂质干扰；
- 高效节能：氩气循环利用+智能抽气策略，综合能耗降低30%；
- 可靠耐用：耐高温设计+自清洁系统，保障连续生产零故障。
声明：以上所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责。本网对此不承担任何责任。友情提醒：为规避购买风险，建议您在购买相关产品前务必确认供应商资质及产品质量。
