详情介绍
【光学镀膜真空泵】膜厚均匀性±1nm | 分子泵+干泵机组 | 支持氦质谱检漏
普旭油式真空泵在光学镀膜与广电机械行业的技术赋能 高洁净真空环境
行业核心需求与挑战
1. 光学镀膜领域
- 需求：
? 极限真空度 ≤5×10?? Pa（磁控溅射/PVD镀膜）
? 油蒸汽返流率＜5×10?? mg/cm2·min（防止膜层污染）
- 痛点：
? 传统扩散泵存在油污染风险
? 分子泵维护成本高昂（年均￥8-12万）
2. 广电机械领域
- 需求：
? 连续运行稳定性（7×24小时广电设备生产）
? 快速抽气能力（腔体容积1-5m3需15分钟内达标）
- 痛点：
? 油雾排放影响洁净车间评级
? 突发停机导致镀膜良率下降30%+
普旭RVX系列油式真空泵技术亮点
1. 超洁净真空环境保障
- 五级油雾捕集系统：
- 集成机械离心+低温冷凝+活性炭吸附技术
- 油蒸汽返流率 ＜2×10?? mg/cm2·min**（优于ISO8573-1 Class 0标准）
- 全金属密封设计：
- 采用氟橡胶+不锈钢复合密封圈，漏率＜1×10?1? Pa·m3/s
2. 精密工艺适配性
- 智能真空梯度控制：
- 配备PID调节阀，真空度波动范围±0.5%（常规系统±3%）
- 多级抽速切换：
- 50-1000m3/h无级调速，适应镀膜不同阶段（预抽/维持/冷却）
3. 工业级可靠性设计
- 耐腐蚀强化：
- 泵体镀镍处理+专用抗氧化真空油（酸气耐受pH2-12）
- 智能预警系统：
- 实时监测油温（精度±1℃）、振动（＜2.8mm/s）、颗粒物浓度
与竞品的关键性能对比
指标
|
某进口分子泵
|
普旭RVX油式泵
|
极限真空度
|
1×10?? Pa
|
5×10?? Pa
|
购置成本
|
￥48万起
|
￥18-25万
|
年维护费用
|
￥9.6万
|
￥2.8万
|
启动到工作真空时间
|
45分钟（需预热）
|
＜8分钟
|
典型应用案例
案例1：光学镜头镀膜生产线升级
- 客户：华南某光学器件上市公司
- 方案：
- 采用RVX630D+罗茨泵组（三级串联）
- 加装油蒸汽低温捕集器
- 成效：
? 膜层瑕疵率从0.7%降至 0.12%
? 镀膜周期缩短 22%（单日产能提升至3800片）
? 洁净室等级维持 Class 1000 标准
案例2：广电真空干燥设备改造
- 客户：华东广电设备制造商
- 方案：
- 替换原有3台水环泵为RVX200D×2（一用一备）
- 成效：
? 干燥效率提升 40%（单批次耗时从4h→2.4h）
? 年度电费节省￥17.3万
? 设备无故障运行突破 12,000小时
技术优势
? 经济性：综合成本较分子泵降低60%，回报周期＜14个月
? 洁净度：油蒸汽控制达半导体级标准，保障镀膜良率
? 智能化：支持Modbus/TCP协议，无缝接入工业4.0控制系统
? 可靠性：MTBF（平均无故障时间）突破30,000小时
