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高洁净环境预抽真空半导体行业无油式节能环保真空泵供应商
普旭（Busch）单级无油式真空泵在半导体行业 中具有重要应用价值，尤其适用于对洁净度、无油污染和稳定真空环境要求严苛的工艺环节。与油式泵相比，无油设计彻底消除了油蒸汽返流污染的风险，符合半导体制造的高标准需求
适用于高洁净度要求的先进制程（如7nm以下节点）。
3.工艺气体处理与回收
抽除刻蚀、沉积工艺中的 非腐蚀性废气（如氮气、氩气），搭配气体过滤系统实现无害化处理。
无油设计避免真空泵与工艺气体反应，延长设备寿命。
4. 真空干燥与封装
用于芯片封装环节的真空干燥工艺（如去除环氧树脂中的气泡），确保封装材料均匀固化。
在3D封装、MEMS器件制造中，提供稳定的低真空环境。
普旭单级无油式真空泵的优势
1. 零油污染
- 采用干式运行技术（如爪式、涡旋式或螺杆式设计），无需润滑油，彻底杜绝油蒸汽反流污染，符合 ISO 1级洁净室 要求。
2. 高可靠性
- 结构紧凑，磨损部件少，适合 7×24小时连续运行，故障率低，维护周期长。
3. 宽泛的真空范围
- 单级无油泵的极限真空可达 0.1~5 mbar，满足半导体中低真空环节需求（如预抽、干燥、传输）。
4. 低能耗与低噪音
- 优化设计降低能耗（相比油式泵节能10%~20%），运行噪音通常低于65 dB，适合洁净室环境。
5. 兼容腐蚀性气体
- 部分型号采用耐腐蚀涂层（如特氟龙、陶瓷），可处理 轻度腐蚀性气体（需根据工艺定制）。
- 适配腐蚀性气体过滤系统，用于刻蚀废气回收。
与油式泵及干式泵的对比
| 维度 | 普旭单级无油泵 | 油式真空泵 | 干式泵（如螺杆泵） |
| 洁净度 |
无油污染，适合洁净室 |
需严格过滤，仍有污染风险 |
无油，洁净度极高 |
| 真空度 |
0.1~5 mbar |
1~5 mbar |
0.01~0.1 mbar（双级更高） |
| 维护成本 |
低（无需换油） |
中（定期换油、滤芯） |
较高（精密部件维护） |
| 适用工艺 |
预抽、传输、干燥等中低真空环节 |
非洁净区辅助设备 |
核心工艺（刻蚀、沉积 |
|
初期投资 |
中高 | 低 | 高 |
注意事项与优化方案
1. 气体兼容性检查
- 若工艺涉及腐蚀性气体（如Cl?、HF），需选择特殊涂层或材质（如镍基合金）的无油泵，并加装 化学过滤器。
2. 热管理
- 长时间运行可能导致泵体升温，需确保散热系统（如风冷/水冷）适配洁净室环境。
3. 振动控制
- 安装减震底座或软连接管道，避免振动传递至精密设备（如光刻机）。
4. 系统集成
- 搭配真空传感器和PLC控制系统，实现真空度实时调控，提升工艺稳定性。
行业应用案例
光刻机预抽系统：Cobra NC系列无油泵用于ASML光刻机腔体预抽，5分钟内将压力降至5 mbar，接力分子泵进入超高真空。
3D NAND封装：Seco SV系列泵在真空干燥环节去除多层堆叠结构的间隙气体，提高良率。
化合物半导体制造：耐腐蚀无油泵处理GaN刻蚀废气，避免油污染导致的晶体缺陷。
普旭单级无油式真空泵凭借其 零污染、高可靠性和低维护成本，成为半导体行业预抽、传输及干燥环节的理想选择。尽管其极限真空度不及分子泵，但通过与其他高真空泵的协同工作，能够显著提升系统效率并降低污染风险。在先进制程和洁净室环境中，无油泵正逐步替代传统油式泵，成为半导体设备升级的关键组件。对于更高真空需求的核心工艺（如离子注入），仍需搭配涡轮分子泵或干式螺杆泵完成。东莞市飞粤真空科技有限公司
