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真空?(UHV)?光栅，真空光栅包括真空圆光栅和真空直线光栅尺，

UHV产品特征如下：

–?RESOLUTE?UHV是 适合在UHV环境下使用的值真空式光栅

–?由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低

–?残余气体分析?(RGA)?经验证不会污染真空环境

–?120?°C烘焙温度

–?非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零

–?具备工业标准的模拟和数字输出，分辨率达1?nm

–?电耗低、发热小

–?无气密孔

–?自适应电路可提供 长期可靠性和低电子细分

误差?(SDE)（RESOLUTE?UHV为±40?nm，TONiC?UHV为±30?nm，RGH25F?UHV和

RGH20F?UHV为±50?nm)

–?UHV兼容电缆

–?TONiC?UHV光栅具有光学参考零位

–? 直线光栅和圆光栅系列

RESOLUTE?UHV、TONiC?UHV、RGH25F

UHV和RGH20F?UHV读数头

雷尼绍 真空?(UHV)?兼容光栅系列中的所有产品都经过 设计，用于各种科学、半导体

和其他高级工业应用场合，真空压力达10-11?Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产

品相同，但是UHV光栅在设计上消除气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂 而成。产

品在UHV环境下的适用性已获得独立的 检验站鉴定，包括残留气体分析?(RGA)?光谱测试。

该系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F读数头，以及各种直线光栅和圆光

栅，提供 的性能和高可靠性。

RESOLUTE?UHV采用真正意义上的式光栅工作原理，与RESOLUTE系列的其他产品相

同。因此光栅具备小栅距性能，并且安装公差大，内在安全性高。RESOLUTE开启后立即确定

位置，减少非受控运动，并且有助于执行 轴命令，无需返回基准位置或者“开启并晃

动”。RESOLUTE的分辨率为1?nm，电子细分误差?(SDE)?为±40?nm，RMS噪音<10?nm，同时也

帮助用户 提

该系列中的所有增量式读数头都包含动态信号调整功能，其中自动增益控制?(AGC)?有助于长

时间内获取 的信号，而自动偏置量控制?(AOC)?则有助于提高信号保真度。AOC和光栅的

低位置噪声也有助于降低直驱系统的速度波动，从而在程度上帮助减少真空条件下电机中积

聚的热量。

通过直线测量标准确保了 ，其中包括自贴式钢带栅尺、不锈钢和ZeroMet栅尺选项。圆

光栅选项包括轻薄小巧的RESR?/?RESM和超 的REXM圆栅， 度 优于±1角秒。