联系人:闻熠 (先生)
手机:13510901650
电话:0755-81474858
传真:0755-28176322
邮箱:2850868930@qq.com
地址:深圳市龙华新区上早新村早禾路3号
产品参数 | |||
---|---|---|---|
腔体材质 | 石英 | ||
供电电源 | AC220V | ||
工作电流 | 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵) | ||
射频电源功率 | 0-200W可调 | ||
射频频率 | 20.0MHz(偏移量小于0.2KHz) | ||
频率偏移量 | 小于0.2KHz | ||
特性阻抗 | 50欧姆,自动匹配 | ||
真空度 | 1pa-30Pa | ||
气体路数 | 双路气体输入 | ||
气体流量 | 10—160ml/min(可调) | ||
过程控制 | PLC人机界面自动与手动方式 | ||
清洗时间 | 1-99999秒钟可调 | ||
功率大小 | 10-100可调 | ||
内腔尺寸 | 直径150mm×270mm PT-5SM 容量5L | ||
外形尺寸 | PT-5SM型_600mmx500x480mm | ||
重量 | 45Kg | ||
真空泵 | 抽速4L/S | ||
真空室温度 | 小于30°C | ||
冷却方式 | 强制风冷 | ||
可售卖地 | 全国 | ||
型号 | PT-5SM |