产品信息
    ASML 4022.486.86221
    价格: 元(人民币) 产地:国外国外
    最少起订量: 发货地:全国全国
    上架时间:2025/3/18 浏览量:3
    宁德润恒自动化设备有限公司
    经营模式: 公司类型:私营独资企业
    所属行业:综合 主要客户:

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    联系人:吴神恩 (先生)

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    地址:美国

    详情介绍

    ASML 4022.486.86221

    ASML 4022.486.86221设备简介及技术参数

    一、产品概述

    ASML 4022.486.86221是荷兰半导体设备巨头ASML(Advanced Semiconductor Materials Lithography)研发的一款自动化设备,专为半导体晶圆制造中的极紫外光刻(EUV)工艺设计。该设备作为光刻机核心组件之一,适用于先进制程(如7nm及以下节点)的微电子加工,具备分辨率、高速处理能力和的稳定性。宁德润恒自动化作为ASML在中国的授权合作伙伴,提供设备销售、安装调试、技术支持和原厂售后服务。




    二、核心技术参数

    1. 设备型号:ASML 4022.486.86221

    2. 应用领域:

    ○ 半导体晶圆光刻(极紫外EUV技术)

    ○ 适用于图案转移(如逻辑芯片、存储芯片制造)

    3. 关键性能指标:

    ○ 分辨率:≤ 13 nm(支持多重曝光技术)

    ○ 套刻精度(Overlay):≤ 1.5 nm(3σ)

    ○ 生产效率:

    ■ 晶圆处理量:≥ 220片/小时(12英寸晶圆)

    ■ 运行周期:≤ 25秒/片(优化模式)

    4. 机械与电气参数:

    ○ 尺寸:约 4.5 m (长) × 3.8 m (宽) × 3.2 m (高)

    ○ 重量:约 15,000 kg

    ○ 电源要求:三相 380VAC,功率约 120 kW

    5. 环境要求:

    ○ 温度:20 ± 0.2°C(恒温控制)

    ○ 湿度:40%RH – 55%RH

    ○ 洁净度:ISO Class 1(需配套洁净室系统)




    三、技术亮点与优势

    1. EUV光源技术:

    ○ 采用ASML的极紫外(EUV)光源(波长13.5 nm),实现亚纳米级分辨率,满足先进制程需求。

    2. 智能控制系统:

    ○ 集成AI算法,实时监测并优化曝光参数(如剂量、焦点位置),降低工艺波动。

    3. 模块化设计:

    ○ 关键部件模块化,支持快速维护与升级,减少停机时间。

    4. 运动平台:

    ○ 双工作台结构,结合磁悬浮驱动技术,实现μm级运动控制精度。

    5. 兼容性与扩展性:

    ○ 兼容现有半导体生产线架构,支持未来工艺节点的升级需求。




    四、供应商服务与支持

    宁德润恒自动化服务内容:

    1. 交付与安装:

    ○ 设备到场安装、调试及验证(含晶圆试产支持)。

    2. 技术支持:

    ○ 24/7远程故障诊断与快速响应服务;

    ○ 定期技术巡检与性能优化建议。

    3. 培训体系:

    ○ 操作培训:设备基础操作、规范;

    ○ 维护培训:模块更换、故障排除。

    4. 零配件供应:

    ○ 原厂认证备件库,确保零件及时供应;

    ○ 长期备件采购折扣计划。

    5. 售后服务:

    ○ 保修期内免费维护;

    ○ 保修期外签订长期维护合同,提供预防性维护服务。




    五、使用注意事项

    ● 操作资质:需经ASML/宁德润恒认证的技术人员操作;

    ● 环境控制:部署恒温恒湿系统(建议搭配ISO Class 1洁净室);

    ● 定期维护:建议每6个月进行一次校准与性能测试。




    结语

    ASML 4022.486.86221作为半导体光刻技术的标杆产品,其EUV技术突破与智能化设计为芯片制造提供了核心竞争力。宁德润恒自动化依托ASML原厂资源,通过本土化服务网络,确保设备运行,助力中国半导体产业升级。


    ASML 4022.486.86221


    联系人:吴经理 手机:18596688429(微信同号)邮箱:841825244@qq.com



























































































































































































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