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ASML 电源接口 4022.472.62893
技术规格详解
型号与描述
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型号：4022.472.62893
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描述：ASML专用高可靠性电源接口模块，适用于极紫外光刻（EUV）设备及半导体晶圆处理系统，支持精准电源分配与实时监控功能。
电气参数
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额定电压：DC 48V（±5%）
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最大电流：200A（持续）/250A（峰值）
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接触电阻：≤0.5mΩ
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绝缘电阻：≥500MΩ（500VDC）
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防护等级：IP65（防尘防水）
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浪涌保护：IEC 61000-4-5 4kV（线-线）/6kV（线-地）
机械特性
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接口类型：高密度盲插连接器（32针）
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尺寸：120mm（L）×80mm（W）×35mm（H）
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材质：外壳-铝合金镀镍，触点-铍铜合金镀金
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安装方式：4点螺纹固定（兼容DIN导轨）
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插拔寿命：≥10,000次
环境参数
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工作温度：-20℃至+70℃
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存储温度：-40℃至+85℃
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湿度范围：5%RH至95%RH（非冷凝）
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抗震等级：IEC 60068-2-6（10g/11ms半正弦波）
监控功能
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实时监测：电流/电压/温度三合一传感器
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通信协议：Modbus RTU（RS-485接口）
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报警阈值：可自定义（默认过流200A/过温85℃）
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数据刷新率：100ms
安全认证
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CE认证：LVD/EMC指令
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UL认证：UL 60950-1
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RoHS合规：2011/65/EU
应用场景
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极紫外（EUV）光刻机电源分配
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半导体晶圆清洗设备
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离子注入机电源系统
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高功率激光器电源接口
订购信息
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包装规格：防静电袋+硬质EPE泡沫
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最小起订量：10个
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交货周期：4-6周（标准库存）
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质保期限：36个月（非人为损坏）
注意事项
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安装时请确保电源完全断电
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定期使用接触电阻测试仪维护
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避免在强电磁干扰环境下使用
ASML 电源接口 4022.472.62893
