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ASML 4022.486.18083
ASML 4022.486.18083
参数详解
ASML 4022.486.18083 是一款高性能的光刻机部件，专为先进的半导体制造工艺设计。以下是该部件的主要参数介绍：
基本参数
技术规格
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分辨率：支持高达 13.5 纳米的极紫外光刻技术，确保高精度的图案转移。
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光源波长：13.5 纳米，适用于的芯片制造工艺。
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对准精度：亚纳米级对准精度，实现极高的套刻精度，确保芯片图案的准确对齐。
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工作效率：具备高生产率，每小时可处理多达 125 片晶圆，提高制造效率。
物理特性
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尺寸：约 1200 毫米（长）x 800 毫米（宽）x 600 毫米（高），具体尺寸可能因配置略有不同。
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重量：约 500 公斤，需专业设备安装和搬运。
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材料：采用高强度合金和复合材料，确保稳定性和耐用性。
电气参数
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电源要求：三相交流电，电压范围 380-480 VAC，频率 50/60 Hz。
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功耗：最大功耗约为 30 千瓦，视具体工作状态而定。
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接口：兼容多种通信协议，包括 SECS/GEM、TCP/IP 等，便于集成到现有生产线。
环境要求
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温度：工作温度范围为 20°C 至 24°C，确保设备稳定运行。
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湿度：相对湿度应保持在 30% 至 60% 之间，避免结露和静电问题。
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洁净度：需在 ISO 5 级洁净室环境下运行，防止灰尘和杂质影响光刻质量。
其他特性
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维护性：模块化设计，便于维护和升级，减少设备停机时间。
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可靠性：高 MTBF（平均无故障时间），确保长时间稳定运行。
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安全性：内置多重安全保护机制，包括紧急停止按钮、安全防护罩等，确保操作人员安全。
ASML 4022.486.18083 作为先进光刻机的关键组成部分，其高性能和稳定性为半导体制造商提供了可靠的技术支持，助力芯片制造技术的不断进步。
ASML 4022.486.18083
