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3寸耐高温晶圆盒用于晶圆切割/Die Saw、磨片/Back Grinding、粘片(固晶)/Die Attac、HMDS烘烤,其两个侧板、顶板、连杆、挡条采用6063-T5铝型材经过CNC精密加工和表面硬质氧化处理,表面光滑无毛刺,坚固耐用,外形美观大方。同时配置不锈钢旋转档杆可以更好的固定保护晶圆片。
产品参数
材质:6060-T5铝型材
槽数:25槽
尺寸:143*86*90 mm
表面处理:硬质氧化
配件:侧板*2、顶板*1、档条*2、连杆*1、活动档条*1
用途:用于切割/Die Saw、磨片/Back Grinding、粘片(固晶)/Die Attac、HMDS烘烤